| Sự chính xác: | 9,0E-11Pa.m3 / giây | Tracer Gas: | Khí heli |
|---|---|---|---|
| Buồng chân không: | 1 | ||
| Điểm nổi bật: |
thiết bị kiểm tra rò rỉ heli, kiểm tra rò rỉ heli |
||
Phòng chân không tự động có độ chính xác cao Thiết bị kiểm tra rò rỉ khí Heli 9.0E-11Pa.m3 / giây
Thiết bị kiểm tra rò rỉ heli này khá độc đáo, độ chính xác phát hiện rò rỉ có thể lên đến 9.0E-11Pa.m3 / giây, phù hợp với các sản phẩm có yêu cầu nghiêm ngặt về tiền xử lý.
Technicial Paramaeters:
| Phôi | Sản phẩm có độ chính xác cao |
| Độ chính xác phát hiện rò rỉ | 9,0E-11Pa.m3 / giây. |
| Tracer Gas | Khí heli |
| Phòng chân không QTY | 1 (có thể được tùy chỉnh) |
Mô tả phát hiện rò rỉ khí Helium:
A. Người vận hành đặt phôi đã ngâm vào buồng chân không, đóng cửa buồng chân không bằng tay và nhấn nút khởi động;
B. Buồng được hút chân không tự động, phát hiện rò rỉ tổng phôi bằng cách đo tổng lượng không khí trong quá trình hút chân không trong buồng: nếu có rò rỉ tổng thể, báo động sẽ được phát ra; nếu không có rò rỉ tổng thể, quá trình sau sẽ được tiếp tục;
C. Buồng chân không được hút chân không đến độ cài đặt;
D. Tín hiệu Heli trong buồng chân không sẽ được phát hiện tự động;
E. Rò rỉ nhỏ của phôi sẽ được tự động xác định:
Nếu máy dò rò rỉ phát hiện thấy có tín hiệu heli vượt quá giá trị cài đặt trong buồng chân không, điều đó cho thấy phôi có rò rỉ nhỏ và đèn báo rò rỉ nhỏ trên giao diện vận hành đang sáng. Người vận hành nhấn nút xác nhận trên bảng thao tác, cửa buồng tự động mở, dỡ phôi, đặt phôi vào khu vực không đủ tiêu chuẩn;
Nếu máy dò rò rỉ không tìm thấy tín hiệu heli vượt quá giá trị cài đặt trong buồng chân không, điều đó cho thấy phôi đã vượt qua thử nghiệm rò rỉ tốt, đèn báo đủ điều kiện trên giao diện vận hành đang bật, cửa buồng được mở bằng tay, phôi được dỡ xuống, và phôi được đặt trong khu vực đủ điều kiện.
Thiết bị này sử dụng bơm chân không không dầu INFICON để loại trừ sự nhiễm hơi dầu của các bộ phận bị rò rỉ.
Đặc điểm kỹ thuật:
Hệ thống của chúng tôi áp dụng công nghệ tự động hóa quy trình, kết hợp thiết bị quy trình với công nghệ điều khiển tự động bằng điện. Toàn bộ quá trình phát hiện phôi được điều khiển tự động bởi PLC và màn hình cảm ứng, người vận hành chỉ cần nạp và dỡ phôi, không cần sự đánh giá của con người đối với mỗi quá trình. Chương trình PLC tự động phán đoán kết quả của bước trước và hoàn thành việc thực hiện bước tiếp theo theo các điều kiện đặt trước, thay thế cho việc phán đoán và thực hiện của con người, giúp người vận hành giải phóng khỏi công việc phức tạp của trí não.
Hệ thống được trang bị máy đo rò rỉ heli tiêu chuẩn 1,0×10 -11 Pa.m3 / giây. Các chứng chỉ liên quan sẽ được cấp bởi Viện Đo lường Quốc gia. Độ chính xác và độ ổn định của thiết bị có thể được truy xuất từ Viện Đo lường Quốc gia. Đảm bảo máy đo rò rỉ trong hệ thống được bên thứ ba phê duyệt.
Đánh giá
Chưa có đánh giá nào.